Основний процес нанесення PVD-покриття JKL

(1) Попередня обробка PVD, включаючи очищення предметів та попередню обробку.Спеціальні методи очищення включають очищення миючими засобами, очищення хімічними розчинниками, ультразвукове очищення та очищення іонним бомбардуванням.
(2) Помістіть їх у піч, включаючи очищення вакуумної камери та пристосування, а також установку, введення в експлуатацію та підключення елементів та приладів.
(3) Вакуумування, зазвичай накачування до 6,6 Па або більше, відкривайте передню частину дифузійного насоса раніше, щоб підтримувати вакуумний насос і нагрівати дифузійний насос.Після достатнього попереднього нагріву відкривається високий клапан і за допомогою дифузійного насоса перекачується до половинного вакууму 6 x 10-3 Па.
(4) Випікання, випікання виробів до бажаної температури.
(5) Іонне бомбардування, вакуум зазвичай становить від 10 Па до 10-1 Па, напруга іонного бомбардування є негативною високою напругою від 200 В до 1 кВ, а час атаки становить від 15 хв до 30 хв.
(6) Попереднє розплавлення, регулювання струму для попереднього розплавлення матеріалу, регулювання струму для попереднього розплавлення покриття та дегазація протягом 1 хв ~ 2 хв.Випаровуваний осад.Струм випаровування регулюється відповідно до потреби, доки не закінчиться бажаний час осадження.Охолоджуючи, предмети охолоджують до певної температури у вакуумній камері.
(7) Після вилучення предметів вакуумну камеру закривають, вакуум відкачують до l × l0-1Pa, а дифузійний насос охолоджують до допустимої температури, перш ніж можна буде вимкнути технічно-технічний насос і охолоджуючу воду.
 


Час розміщення: 07.09.2021